等离子体刻蚀的强度与电感线圈距离的关系

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线圈石英管离开石英管的距离增大，线圈与等离子体单匝电流环(电子流)之间的耦合强度降低，等离子体密度下降，刻蚀速率随之降低。 线圈石英管离开石英管的距离太小也不好，容性耦合增大，石英窗口的溅射增强，也可以这种条件下降低容性耦合(溅射)的方法，需要改造匹配网络。