等离子体刻蚀和反应离子刻蚀有什么不同

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当然不古老，等离子体学科出现发展才不过百年，半导体集成电路出现才多少年，最早刻蚀半导体都是用化学方法，最近十几年才发明出等离子体刻蚀机，现在基本都是等离子体刻蚀了。