等离子体刻蚀机台用的真空泵该如何保养？

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白色结晶物的成分应该复杂一些，四氟化碳电离后和基片的混合物，再经氧化，再加上到达泵口的大气反应，再加上油分子反应。。。。大概是这意思，我说的不一定对，但，应该有毒或是腐蚀性，不要直接接触。泵的保养么。。有条件的换成干泵，可以基本免维护就选片泵来说，出气口管道要密封性好，避免与大气反应，出口管道要做横向弯曲设计，以防止回流。保养不一定非要解体，热泵状态下，可以用少量新油洗一洗泵，再换油。。。方法很多。。。 是做半导体晶片的？