氮化硅（Si3N4）是一种优良的高温结构陶瓷，在工业生产和科技领域中有重要用途．Ⅰ．工业上有多种方法来制备氮化硅，常见的方法：方法一??直接氮化法：在1?300～1?

氮化硅（Si3N4）是一种优良的高温结构陶瓷，在工业生产和科技领域中有重要用途．

Ⅰ．工业上有多种方法来制备氮化硅，常见的方法：

方法一??直接氮化法：在1?300～1?400℃时，高纯粉状硅与纯氮气化合，其反应方程式为______．
方法二??化学气相沉积法：在高温条件下利用四氯化硅气体、纯氮气、氢气反应生成氮化硅和HCl，与方法一相比，用此法制得的氮化硅纯度较高，其原因是______．
方法三??Si（NH2）4热分解法：先用四氯化硅与氨气反应生成Si3N4和一种气体______（填分子式）；然后使Si（NH2）4受热分解，分解后的另一种产物的分子式为______．
Ⅱ．（1）氮化硅抗腐蚀能力很强，但易被氢氟酸腐蚀，氮化硅与氢氟酸反应生成四氟化硅和一种铵盐，此盐中存在的化学键类型有______．
（2）已知：25℃，101kPa条件下的热化学方程式：
3Si（s）+2N2（g）═Si3N4（s）△H=-750.2kJ/mol????①
Si（s）+2C12（g）═SiCl4（g）△H=-609.6kJ/mol????②
H2（g）+C12（g）═HCl（g）△H=-92.3kJ/mol????③
请写出四氯化硅气体与氮气、氢气反应的热化学方程式：______．
Ⅲ．工业上制取高纯硅和四氯化硅的生产流程如下：


已知：X、高纯硅、原料B的主要成分都可与Z反应，Y与X在光照或点燃条件下可反应，Z的焰色呈黄色．
（1）原料B的主要成分是______（填化学式）．
（2）写出焦炭与原料B中的主要成分反应的化学方程式：______．
（3）上述生产流程中电解A的水溶液时，阳极材料能否用Cu？______（填“能”或“不能”）．写出Cu为阳极电解A的水溶液开始一段时间阴、阳极的电极反应方程式．阳极：______；阴极：______．