真空腔体变形如何测量

发布时间:2019-08-01 10:16:39

PVD腔体抽真空之后,如何判断腔体是否存在因大气压导致的腔体变形

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【1】变形度较大时可以目测。

【2】变形较小时可以测量直径。

【3】有条件可以投影测试。

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