发布时间:2019-08-01 10:16:39
PVD腔体抽真空之后,如何判断腔体是否存在因大气压导致的腔体变形
【1】变形度较大时可以目测。
【2】变形较小时可以测量直径。
【3】有条件可以投影测试。