ASML宣布全新半导体技术 5nm制程工艺效率大涨

荷兰ASML公司是全球唯一的EUV光刻机供应商,目前该公司的光刻机技术已经达到了5nm甚至3nm的水平,不过ASML公司不只是光刻机厉害,近日,ASML公司正式宣布了另外一个新产品--第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000,这台设备适用于5nm以及更先进的制程工艺,并且工作效率提升600%。

随着制程工艺的不断提升,晶圆的制造要求也越来越高,所以晶圆中的错误也多了起来,而HMI eScan1000就是一套基于HMI多光束技术的检测系统,通过这套检测系统可以根据反射回来的电子束成像来分析晶圆质量,并有高速运行的平台以控制测试的晶圆数量,这样可以大大减少错误的发生。

说到您的工作效率,HMI eScan1000设备可以同时产生、控制九道电子束,所以说它的工作效率提升了600%。

转过头来看国内芯片制作的发展阶段,目前国内只有一家光刻机厂商--上海微电子(SMEE),相比于荷兰ASML公司可以说有不可鸿越的差距。

目前,上海微电子(SMEE)只能生产制造90nm的光刻机,而荷兰ASML却可以生产制造7nm甚至5nm的光刻机,这之间的差距一目了然,上海微电子(SMEE)想要赶上荷兰ASML的脚步可不是一年两年的事。

虽然说上海微电子(SMEE)的实力还没有荷兰ASML那么强,不过上海微电子占据着国内80%以上的市场份额,目前国内市场上大部分的智能手机使用的芯片都是通过上海微电子(SMEE)生产。

目前国内的芯片技术发展可谓是举步维艰,无法掌握先进的光刻机制造技术,这意味着国内依旧需要依赖国外制作的先进光刻机,而在这种形势下,国外的光刻机制造商都不买中国的账,所以在这方面的进展几乎是0。