磁控溅射分子泵满速一段时间后自动减速是什么问题

网友回答

(1)我们的真空室有一点点的漏气，现在只能抽到2X10-2Pa，我想问一下，本...答：磁控溅射，磁场控制的二级溅射。 原理是将靶材周围的气体电离化，形成等离子体，在等离子体环境中溅射过程。属于气体放电范畴。 优质的膜层需要控制膜层的稳定性和均匀性，而体现在控制方面，则表现为：磁尝气尝电源。 1.磁场的稳定：靶芯的磁场...