【离子束光刻】离子束加工的特点是什么?

发布时间：2021-04-02 03:14:13

离子束加工的特点是什么? 物理

网友回答

【答案】 o1、是一种精密微细的加工方法.
　　2、非接触式加工,不会产生应力和变形.
　　3、加工速度很快,能量使用率可高达90％.
　　4、加工过程可自动化.
　　5、在真空腔中进行,污染少,材料加工表面不
　　氧化.
　　6、电子束加工需要一整套专用设备和真空系
　　统,价格较贵.
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