请介绍一下扩散硅原理（在压力传感器中）1.什么是扩散硅的原理。 2.讲一下他在压力传感器中的应用。 谢谢
网友回答
【答案】 能够用到硅材料的压力传感器应该是压阻式传感器，属于微型化的传感器。 压阻效应任何一本传感器书中都会有介绍，我就不多说了。 既然是压阻效应，就要在硅片上扩散电阻，也就是说在硅片上掺杂上别的材料，做出电阻来。一般来说P型电阻灵敏度高，必须将其扩散到N型衬底上。再详细点，就找本集成电路加工工艺的书。 说到应用，在汽车、医疗、军事上都有用的，象恩德福克公司、恩特兰公司、IC Sensors公司等，都在做这类的传感器。