请问材料学专业硕士跨考中科院微电子研究所博士，难不难考啊？这样跨考有过先例吗？

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看你是偏重于哪个方面，如果是在新材料和新工艺方面，你应该不成问题。但是如果是在电路系统方面，那你没有竞争优势。录取博士生，比较注重的各人的知识背景和研究能力。仅供参考。