氮化硅是一种超硬物质，抗腐蚀能力强，还能抗冷热冲击。工业上可用高纯硅与纯氮气在高温下反应制取。（1）根据氮化硅的性质，推测其用途是________（填序号）。A.制造永久性模具B.制汽轮机叶片C.制石

氮化硅是一种超硬物质，抗腐蚀能力强，还能抗冷热冲击。工业上可用高纯硅与纯氮气在高温下反应制取。
（1）根据氮化硅的性质，推测其用途是________（填序号）。A.制造永久性模具B.制汽轮机叶片C.制石英玻璃D.制造柴油机（2）根据氮和硅在周期表中的位置，写出氮化硅的化学式：________。
（3）氮化硅可被氢氟酸腐蚀，生成四氟化硅和氨。试写出该反应的化学方程式：________。