【刻蚀】什么是干法刻蚀?干法有几种刻蚀方法?

发布时间：2021-03-18 10:34:00

什么是干法刻蚀？干法有几种刻蚀方法？

网友回答

用等离子体对薄膜线条进行刻蚀的一种新技术。分为等离子体刻蚀、反应离子刻蚀RIE、磁增强反应离子刻蚀、高密度等离子刻蚀......
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