【光刻工艺】在光刻工艺中的图形分辨率是什么意思

发布时间：2021-03-18 06:23:29

在光刻工艺中的图形分辨率是什么意思

网友回答

【答案】 是光刻激光可刻蚀出来的图形最小距离.
　　小于这个距离,就不能清晰的得到你想要的图像.
　　其与光源波长及综合因子k1(基本是常数)正比,与镜头数值孔径的平方成反比.
以上问题属网友观点，不代表本站立场，仅供参考！