我国目前广泛应用三氯氢硅氢还原法制备多晶硅。制备三氯氢硅的反应为：
Si(s)+3HCl(g) = SiHCl3(g)+H2(g) ΔH=-210 kJ/mol。
伴随的副反应有：Si(s)+4HCl(g) = SiCl4(g)+2H2(g) ΔH=-241 kJ/mol。
SiCl4在一定条件下与H2反应可转化为SiHCl3，反应的热化学方程式为：A.SiCl4+H2 = SiHCl3+HClΔH=+31 kJ/molB.SiCl4+H2 = SiHCl3+2HCl ΔH=-31 kJ/molC.SiCl4(g)+H2(g) = SiHCl3(g)+HCl(g) ΔH=+31 kJ/molD.SiCl4(g)+H2(g) = SiHCl3(g)+2HCl(g) ΔH=-31 kJ/mol
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C解析正确