【太阳能电池原理】简述太阳能电池片制造PECVD的目的及原理?

发布时间：2021-03-18 10:30:00

简述太阳能电池片制造PECVD的目的及原理？

网友回答

目的：在太阳电池表面沉积深蓝色减反膜-SiN膜。
P.ECVD技术原理：是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的......
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