半导体器件制造为什么需要高纯氮气，如果高纯氮气中二氧化碳含量超标20倍，会造成什么影响

发布时间：2019-08-07 01:09:07

半导体器件制造为什么需要高纯氮气，如果高纯氮气中二氧化碳含量超标20倍，会造成什么影响

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SiO2+CO2=SiCO3

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