作为偏压的射频电源和作为等离子体激发的电源有什么区别

发布时间:2019-08-26 13:31:12

作为偏压的射频电源和作为等离子体激发的电源有什么区别

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直流电”(Direct Current,简称DC),又称“恒流电”,恒定电流是直流电的一种,是大小和方向都不变的直流电。交流电(alternating[??lt?r?ne?t] current[?k?r?nt, ?k?r-]),简称为AC。交流电也称“交变电流”,简称“交流”。一般指大小和方向随时间作周期性变化的电压或电流。它的最基本的形式是正弦电流。射频电源是等离子体配套电源,它是由射频功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率计组成
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