真空镀膜时如何控制膜层的厚度

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时间-功率控制 根据 厚度=时间×速率,改变功率以保证V接近常数,再通过时间来控制厚度.石英晶体监控 监测晶振片的振动频率 根据厚度与频率的变化关系,计算当前厚度来控制光学监控 直接测量膜系的光学特性R/T目测 肉眼观测反射颜色来控制膜层厚度,误差太大